潔凈室塵埃粒子檢測標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

⒈      目的：闡述潔凈室（區(qū)）中懸浮粒子的測試方法，用以規(guī)范員工的檢測操作。

⒉      范圍：適用于公司內(nèi)部生產(chǎn)潔凈區(qū)塵埃粒子檢測工作

⒊      責(zé)任：生產(chǎn)車間、生產(chǎn)部、質(zhì)量管理部、QC檢驗(yàn)室主任、檢驗(yàn)員。

⒋      測依據(jù)：

⒌      內(nèi)容：

5.1儀器：光散射粒子計(jì)數(shù)器和濾膜顯微鏡。

光散射粒子計(jì)數(shù)器用于粒徑≥0.5μm；濾膜顯微鏡用于粒徑≥5μm的懸浮粒子的計(jì)數(shù)。使用光散射粒子計(jì)數(shù)器時(shí)應(yīng)嚴(yán)格按照儀器說明書操作。

5.2         測定標(biāo)準(zhǔn)  

5.3 測試方法

5.3.1 儀器開機(jī),預(yù)熱至穩(wěn)定后,方可按說明書的規(guī)定對(duì)儀器進(jìn)行校正。

5.3.2 采樣管口置采樣點(diǎn)采樣時(shí)，在確認(rèn)計(jì)數(shù)穩(wěn)定后方可開始連續(xù)讀數(shù)。

5.3.4 采樣管必須干凈、嚴(yán)禁滲漏。

5.3.5 采樣管的長度應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度，除另有規(guī)定外，長度不大于1.5m。

5.3.6 計(jì)數(shù)器采樣口和儀器工作位置應(yīng)處在同一氣壓和溫度下，以免產(chǎn)生測量誤差。

5.3.7 必須按照儀器的檢定周期，定期對(duì)儀器作檢定，以保證測試數(shù)據(jù)的可靠性。

5.4 測試規(guī)則

5.4.1測試條件

5.4.1.1 溫度和濕度：潔凈室的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)與其生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)，溫度控制在18～26℃，相對(duì)濕度控制在45～65%之間為宜。

5.4.1.2 壓差：空氣潔凈度不同的潔凈室（區(qū)）之間的壓差應(yīng)≥5Pa，空氣潔凈度級(jí)別要求等高的潔凈室（區(qū)）對(duì)相鄰的空氣潔凈度級(jí)別低的潔凈室（區(qū)）一般要求呈相對(duì)正壓。

5.4.2 測試狀態(tài)：有靜態(tài)測試和動(dòng)態(tài)測試。

5.4.2.1 靜態(tài)測試時(shí)室內(nèi)空調(diào)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，測試人員不得多于2人。塵埃粒子數(shù)必須符合規(guī)定。

5.4.2.2 動(dòng)態(tài)測試時(shí)已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)，所產(chǎn)生粒子不影響最終產(chǎn)品的作業(yè)，可允許超出標(biāo)準(zhǔn)，但當(dāng)操作完成10分鐘后，粒子水平必須恢復(fù)到以潔凈區(qū)塵粒最大允許數(shù)范圍之內(nèi)，應(yīng)定期監(jiān)控動(dòng)態(tài)條件下的潔凈狀況。

5.4.2.3 測試報(bào)告中應(yīng)標(biāo)明測試時(shí)所采用的狀態(tài)。

5.4.3 測試時(shí)間：對(duì)單向流，測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于30分鐘后開始。

5.4.4 懸浮粒子計(jì)數(shù)

5.4.4.1采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置

5.4.4.1.1 采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)及工藝關(guān)鍵操作區(qū)設(shè)置。

5.4.4.1.2 采樣點(diǎn)布置要求均勻，避免采樣點(diǎn)在某局部區(qū)域過于稀疏。

5.4.4.1.3 采樣點(diǎn)一般在工作臺(tái)面上0.2m高度的平面上均勻布置。

5.4.4.2 采樣點(diǎn)的限定：對(duì)于任何小或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目不得少于2個(gè)，總采樣次數(shù)不得少于5次。每個(gè)采樣點(diǎn)采樣次數(shù)可以多于1次，但不同采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)可以不同。

最少采樣點(diǎn)數(shù)目

5.4.4.3 采樣量：   

最小采樣量

5.4.4.4 采樣注意事項(xiàng)

5.4.4.4.1 在確認(rèn)潔凈室(區(qū))送風(fēng)和壓差達(dá)到要求后,方可進(jìn)行采樣。

5.4.4.4.2 對(duì)于單向流，計(jì)數(shù)器采樣管口朝向應(yīng)正對(duì)氣流方向，對(duì)于非單向流，采樣口宜向上。

5.4.4.4.3布置采樣點(diǎn)時(shí)，應(yīng)避開回風(fēng)口。

5.4.4.4.4 采樣時(shí)，測試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。

5.4.4.4.5 懸浮粒子濃度的采樣數(shù)據(jù)應(yīng)按下述步驟作統(tǒng)計(jì)計(jì)算。

5.5 結(jié)果計(jì)算 

                            C1+C2+------+CN

5.5.1 采樣點(diǎn)的平均粒子濃度A= ————————

                                  N

式中：

A--某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度，粒/m3；

Ci--某一采樣點(diǎn)的粒子濃度（i=1，2，---，N），粒/m3；

N--某一采樣點(diǎn)上的采樣次數(shù)，次。

                     A1+A2+---+AL

5.5.2 平均值的均值M= ————————

                        L

式中

M——平均值的均值，即潔凈室（區(qū)）的平均粒子濃度，粒/m3；

Ai——某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度（i=1,2，---，L）,粒/m3；

L——某一潔凈室（區(qū)）內(nèi)的總采樣點(diǎn)數(shù)，個(gè)。

5.5.3 標(biāo)準(zhǔn)誤差  SE= 式中

SE——平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差，粒/m3。

5.5.4 置信上限

UCL=M+t×SE

式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒/m3；

t ——95%置信上限的t分布系數(shù)。

95%置信上限的t分布系數(shù)

注：當(dāng)采樣點(diǎn)多于9點(diǎn)時(shí)，不需要計(jì)算UCL。

5.6 結(jié)果評(píng)定：判斷懸浮粒子潔凈度級(jí)別應(yīng)依據(jù)下述二個(gè)條件。

5.6.1 每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子濃度必須低于或等于規(guī)定的級(jí)別界限，即Ai≤級(jí)別界限。

5.6.2 全部采樣點(diǎn)的粒子濃度平均值的均值的95%置信上限必須低于或等于規(guī)定的級(jí)別界限，即UCL≤級(jí)別界限。

5.7 當(dāng)連續(xù)三次樣品測試結(jié)果超過警戒指標(biāo),或單位樣品的結(jié)果特別高時(shí)，應(yīng)著手采取措施。

5.8 用標(biāo)有頁碼記錄本記錄潔凈室懸浮粒子測試實(shí)驗(yàn)，內(nèi)容包括：部門、試狀態(tài)、測試時(shí)間、標(biāo)準(zhǔn)、測試結(jié)果、結(jié)果計(jì)算、結(jié)果評(píng)定等所有記錄必須有實(shí)驗(yàn)員簽名，并交質(zhì)量管理科負(fù)責(zé)人簽字。

5.9 記錄本應(yīng)保存至最后一次記錄后的三年。