電子無(wú)塵室空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)測(cè)試方案

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審核：           

2012年05月30日

一、前言：

為系統(tǒng)可順利移交業(yè)主，及其驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，故研擬本計(jì)劃書(shū)。此計(jì)劃書(shū)大綱如下：

（1）測(cè)試方法。

（2）測(cè)試基準(zhǔn)。

（3）測(cè)試表格。

二、時(shí)間：

三、測(cè)試條件和程序：

1.無(wú)塵間測(cè)試基準(zhǔn)：

-01）室外條件：夏季：35℃DB、70% 冬季：-5℃DB、50%RH

-02）室內(nèi)條件：無(wú)塵室：溫度23±2℃、濕度為50±5% RH；噪音：65DBA以下

2.無(wú)塵間檢查測(cè)試程序：

（1）測(cè)試順序與時(shí)間：

（2）檢查測(cè)試儀器及測(cè)試地點(diǎn)：

A.風(fēng)速、風(fēng)量測(cè)試

（a）此檢測(cè)計(jì)劃在于確認(rèn)室內(nèi)總風(fēng)量、風(fēng)速是否合乎規(guī)范要求。

（b）檢測(cè)儀器：

經(jīng)校正合格有效期一年內(nèi)之風(fēng)速計(jì)測(cè)試

（c）檢測(cè)點(diǎn)：檢測(cè)點(diǎn)位于主風(fēng)管和高效過(guò)濾器下方300mm處，且每一過(guò)濾器取六點(diǎn)測(cè)試。

檢測(cè)儀器檢測(cè)時(shí)須以適當(dāng)之架臺(tái)支撐或延伸架固定。

（d）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：

每一過(guò)濾器出口風(fēng)速須較高于設(shè)計(jì)之空氣量規(guī)格。

備注：本項(xiàng)目每個(gè)風(fēng)口設(shè)計(jì)風(fēng)量為1500m³/h左右。

B.潔凈度（落塵量）(Cleanliness)

（a）此測(cè)試在于證明潔凈度合乎無(wú)塵室規(guī)范要求。

（b）檢測(cè)儀器：

Laster particle counter－0.3μm×1cfm檢測(cè)儀器測(cè)試

（c）檢測(cè)方法：每一無(wú)塵室潔凈度均須以Laster particle counter檢測(cè)。

-a）檢測(cè)點(diǎn)：以FS 209E亂流標(biāo)準(zhǔn)測(cè)測(cè)試點(diǎn)數(shù)N=(地板總面積)／(潔凈度等級(jí)平方根)，高度為高架地板/地板起1,100mm高度，每一檢測(cè)點(diǎn)測(cè)試時(shí)間為一分鐘。 (參考潔凈室：)

備注：本項(xiàng)目測(cè)試點(diǎn)數(shù)N=640/316.2≈2。

-b）檢測(cè)儀器檢測(cè)時(shí)須以上適當(dāng)之架臺(tái)支持或以延伸架固定。

（d）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：FS 209E落塵控制量

（e）測(cè)試區(qū)域(等級(jí)100K)

a.   潔凈室清凈度粉塵檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

C.室內(nèi)壓力(Room Pressurization)

（a）此測(cè)試在確保無(wú)塵室依甲方要求均維持在正壓狀態(tài)。

（b）檢測(cè)儀器：

檢測(cè)儀器須經(jīng)校正合格且有效期一年內(nèi)者，使用0~60Pa刻度型壓力計(jì)。

（c）測(cè)試方法：

-a）檢測(cè)點(diǎn)：三點(diǎn)測(cè)試

檢測(cè)點(diǎn)于無(wú)塵室內(nèi)放置測(cè)試管并室外測(cè)試管做為壓差產(chǎn)生數(shù)據(jù)。

-b）室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq壓力。

-d）于運(yùn)行階段正常動(dòng)作下之排氣系統(tǒng)排氣量調(diào)整為平衡狀態(tài)。

-e）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：壓力測(cè)試結(jié)果須較≥10Pa。

D.溫度及濕度(Temperature and Humidity)

（a）此項(xiàng)檢測(cè)系確認(rèn)無(wú)塵室內(nèi)溫度及濕度均在要求范圍內(nèi)。

（b）檢測(cè)儀器

-a）檢測(cè)精確能力可達(dá)±0.5℃之pc溫度計(jì)或同級(jí)品。

-b）能力可達(dá)±2之電子濕度計(jì)或同級(jí)品。

-c）檢測(cè)儀器均須校正合格且在有效期一年內(nèi)者。

-d）前或交付報(bào)告時(shí)均須檢附校正合格文件。

（c）檢測(cè)方法

-a）無(wú)塵室內(nèi)每區(qū)取一點(diǎn)并位于地板上方1,100mm之高度處。

-b）每一檢測(cè)點(diǎn)至少須測(cè)試10MIN。

-c）測(cè)試點(diǎn)：5個(gè)點(diǎn)，特氣間2個(gè)點(diǎn)，實(shí)驗(yàn)室2個(gè)點(diǎn)。

（d）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：檢測(cè)及監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)均須在規(guī)范要求范圍內(nèi)。

本項(xiàng)目設(shè)計(jì)值：溫度23±2℃、濕度為40-60%RH。